ゾル・ゲル法による機能性薄膜の形成技術 |
平成4年度 |
守屋公一、冨野寿和、神高幸則、原卓雄 |
| 金属材料の軟質材をより高機能(耐食、耐熱、耐摩耗、高絶縁等)な材料とするため、軟質材の表面改質処理を行った。表面改質処理として、液相法の一つで、セラミックスの低温合成法としても注目されているゾル・ゲル法を応用したセラミックス薄膜の形成技術について検討した。このゾル・ゲル法を応用した成膜処理は多孔質複合材料への適用も可能で、この処理を金属軟質材表面に行うことで、絶縁特性を有し耐食性に優れた複合材料の作製が期待できる。 |
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