マイクロ−メゾマシニング技術に関する研究 |
−軸付き砥石による超硬合金の鏡面研削加工− |
平成16年度 |
佃 昭, 近藤祥人 |
| レンズ金型等の曲面を有する金型の鏡面加工を最終目的として,微粒ダイヤモンド軸付き砥石による超硬合金の鏡面研削試験を行った.研削試験は,超精密平面研削盤の主軸ヘッドに超精密スピンドルを固定して,クリープフィード研削方式で実施した.砥石には,ダイヤモンドの粒径が異なるレジン系およびビトリファイド系のダイヤモンド軸付き砥石を試作して実験に用いた. 実験の結果,0.5/3μmのレジンボンドダイヤモンド軸付き砥石で超硬合金を研削した場合,最大表面粗さRz0.029μmの鏡面加工面が得られた. |
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