香川県産業技術センター

香川県産業技術センター研究報告概要

マイクロ－メゾマシニング技術に関する研究

－超硬合金およびステンレス鋼の鏡面研削加工－

平成１７年度

佃　　昭，近藤祥人

　光学部品製造用微細金型や半導体製造装置部材の鏡面加工を最終目的として，微粒ダイヤモンド砥石による超硬合金およびステンレス鋼の鏡面研削試験を行った．研削試験は，超硬合金の鏡面研削においては，超精密平面研削盤の主軸ヘッドに超精密スピンドルを固定して，クリープフィード研削方式で実施した．また，ステンレス鋼の鏡面研削においては，超精密平面研削盤を用いてトラバース研削方式で実施した．砥石には，粒径が異なる微粒ダイヤモンド砥石を試作して実験に用いた．実験の結果，超硬合金およびステンレス鋼の鏡面研削において，それぞれ最大表面粗さRzが21nmおよび30nmの良好な鏡面が得られた．

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生産技術部門：087-881-3175

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