香川県産業技術センター

香川県産業技術センター研究報告概要

マイクロ－メゾマシニング技術に関する研究

－レジン系微粒ダイヤモンド砥石による金属材料の鏡面研削加工－

平成１８年度

佃　　昭，　近藤祥人

　光学部品製造用微細金型，半導体製造装置部材，生体材料等の鏡面加工の確立を最終目的として，レジン系微粒ダイヤモンド砥石の試作・開発を行った．このダイヤモンド砥石を用いて，各種金属材料（合金工具鋼，ステンレス鋼，チタン合金）の鏡面研削試験を行い，供試材の材料特性と研削条件の関係について検討した．その結果，材料特性の違いにより最適加工条件が異なり，高硬度材である合金工具鋼の場合は，研削速度を高速に，また，比較的軟質な金属であるステンレス鋼の場合は，研削速度を低速に設定した方が表面粗さは小さくなった．一方，チタン合金の場合は鉄鋼材料と比較して鏡面研削は困難で，ダイヤモンド砥粒よりも材料との親和性が低いGC砥粒を用いる方が鏡面研削には有利であった．

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生産技術部門：087-881-3175

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