香川県産業技術センター

香川県産業技術センター研究報告概要

マイクロ－メゾマシニング技術に関する研究

－微粒ダイヤモンド砥石によるステンレス鋼の鏡面研削加工－

平成１９年度

佃　昭，熱田俊文，岡田昭次郎（（株）日本グレーン研究所）

　ステンレス鋼は，半導体製造装置部材，理化学分析機器部材をはじめとする精密機器部材として各方面で多用されている．これらの部材の表面性状には鏡面が要求されることが多く，この鏡面加工工程の高精度・高能率化が求められている．本研究では，固定砥粒によるステンレス鋼の鏡面加工を実現するために各種ステンレス鋼の精密研削・鏡面研削を行い，その研削機構を検討した．その結果，切削作用が支配的な研削機構の条件下においては，供試材の引張強さが大きいほど表面粗さの値は小さく良好な加工面が得られた．一方，切削作用と掘り起こし作用が共存する研削機構の条件下においては，供試材の引張強さと表面粗さの相関関係は認められなかった．

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生産技術部門：087-881-3175

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