香川県産業技術センター

香川県産業技術センター研究報告概要

3波長レーザ干渉光学系の設計検討

平成１９年度

小林宏明，濱田敏弘，河井治信，舩津俊一（（株）シーマイクロ），森本茂明（隆祥産業（株）），秦　清治（香川大学工学部知能機械システム工学科）

　半導体など微細かつ高精度が要求される物体の３次元計測を行うため，波長の異なる３種のレーザ光を用いた干渉計を開発した．一般的な干渉計の光源は単一のレーザ光もしくは白色光であるが，本光学系では３種類の波長を用いることで高速かつ測定範囲の広い計測が可能である．本稿では，試作した３波長レーザ干渉計による立体形状計測結果と高精度化に向けた計測アルゴリズムの検討結果について述べる．

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システム技術部門：087-881-3175

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