香川県産業技術センター研究報告概要

マイクロ−メゾマシニング技術に関する研究

−単粒研削試験によるステンレス鋼の鏡面研削機構の検討−

平成20年度

佃 昭,熱田俊文,岡田昭次郎,高木純一郎

 ステンレス鋼には種々の種類があり,その特性を活用して半導体製造装置部材,理化学分析機器部材をはじめとする精密機器部材として各方面で多用されている.これらの部材の表面性状には鏡面が要求されることが多く,この鏡面加工工程の高精度・高能率化が求められている.本研究では,微粒ダイヤモンド砥石によるステンレス鋼の高品位鏡面加工を実現するために円錐ダイヤモンドを用いた単粒研削試験を行い,研削機構の検討を行った.その結果,大きな伸びの値を示すオーステナイト系ステンレスSUS304においては,鏡面生成過程において,切削作用のみならず材料除去を伴わない掘り起こし作用によるバニシング効果が作用している可能性があることがわかった.

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