香川県産業技術センター

香川県産業技術センター研究報告概要

実時間ワンショットナノ計測装置の開発

平成２１年度

小林宏明、兼田昌伸（香川大学工学部知能機械システム工学科）、木村大地（香川大学工学部知能機械システム工学科）、森本茂明（（株）レグザム）、武田勝（（株）レグザム）、秦清治（香川大学工学部知能機械システム工学科）

　大面積を高精度かつ長ストロークで短時間に３次元計測可能な適応型縞位相解析技術を開発した．本手法は，多波長干渉計の測定時に任意の干渉縞を発生させ，この縞模様の位相を解析することで物体の形状を瞬時に測定する．本手法では，位相シフト干渉法のように基準となる参照光の位相をシフトさせる必要がないため，振動等の外乱の影響が極めて小さくなる．これにより，微細な構造物をリアルタイムにて高精度に測定することが可能である．本稿では，本手法の原理である適応型縞位相解析手法の原理と試作した実時間ワンショットナノ計測装置及び，その計測実験の結果について述べる．

詳しい内容が必要な方はこちらまでご連絡ください。

システム技術部門：087-881-3175

検索結果に戻るには、ブラウザの「戻る」ボタンでお戻り下さい。